CMP Bench-Top机器

我们在摩擦测试仪世界领先的经验刚刚应用到最新的产品－CMP测试仪。CMP基于最新的先进技术，是同类型中最精确和独特的。这种自动的仪器是CMP用户所必须的，并作为理解、优化和控制CMP过程、机器和材料来供应。 CMP Tester description  |  PDF file, 556 Kb

这个仪器基本上是带有大量信号显示和在线分析的bench-top CMP机器，包括以下微观摩擦信息同步的实时处理信号：

• 通过专有传感器测量晶片垫片和钻石堞交界面的正常负载和摩擦力（力矩）
• 通过专有传感器和放大器测量晶片垫片和钻石堞交界面的接触声噪音（弹性波）
• 进料温度，垫片表面和流出消耗
• 垫片磨损深度和切削率
• 实时数据采集和分析

CMP Tester Diagram  |  PDF file, 150 Kb

这里您可以看到CETR关于 "Quantitative Functional Testing of Consumables Using a Bench-Top CMP Tester" 的介绍，2001年美国真空协会北加州CMPUG会议

发表的论文